應(yīng)用于：
半導(dǎo)體晶元光刻和高精度PCB板曝光等。以LED單波段或混合波段作為光源，采用了陣列光學(xué)鏡片整形后，輸出均勻的平行光組成面光源（矩形或者特定形狀光斑），實(shí)現(xiàn)波長365nm的紫外光（313nm或者405nm、435nm混合光），光束垂直照射于半導(dǎo)體光刻機(jī)掩膜板進(jìn)行芯片光曝光，光能利用率高，光強(qiáng)分布均勻。
規(guī)格及參數(shù)：
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序號(hào) |
項(xiàng)目 |
性能要求 |
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1 |
型號(hào) |
UVLED-365-6-400-WC/AC |
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2 |
光源 |
LED |
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3 |
工作波長 |
主波長365nm（可定制405nm、435nm或混合波段） |
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4 |
照明尺寸 |
>160x160mm（可定制4寸--12寸曝光面積） |
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5 |
照明不均勻性 |
<2% |
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6 |
照明強(qiáng)度 |
>30mw/cm2 @365nm（風(fēng)冷）/>100mw/cm2 @365nm（水冷） |
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7 |
準(zhǔn)直角 |
<2°（可定制） |
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8 |
傾斜角 |
<0.3° |
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9 |
工作距 |
200-400mm（可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制） |
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10 |
外形尺寸 |
長寬高≤550*350*600mm |
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11 |
能量調(diào)節(jié) |
調(diào)節(jié)控制LED功率（本地或遠(yuǎn)程） |
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12 |
能量檢測 |
光路能量實(shí)時(shí)監(jiān)測 |
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